マイクロアクチュエータ特論

　微細加工技術の発展に伴い、人の手に触れることのできない領域でのメカニカルな動作を実現するマイクロアクチュエータが提案されており、医療を始めとする広範囲の分野でその実現が求められている。本講義では、これまで提案されているマイクロアクチュエータについて原理、応用について論じるとともに、新たな原理基づくアクチュエータを発現するための知識の習得を目的とする。特に圧電効果を用いたアクチュエータを中心に講義を進めていく。