プラズマ応用工学

　本科目の前半では、プラズマの概念，生成メカニズムと生成方法，理論などの基礎知識の講義と、各種分野への一般的な応用を講義し、後半では、半導体などの薄膜形成・加工への応用について講義を行う。講義を通してプラズマ技術の理解に必要十分な基礎知識と応用力を養成する。具体的には、固体・液体・気体プラズマの基礎，放電現象とプラズマ生成，気体論に基づくプラズマ解析，気体プラズマ源，プラズマ応用装置，薄膜形成，加工法（リソグラフィー関連分野）などプラズマ技術の応用を中心に、最新技術も交えて講義を行う。

1.	プラズマ生成原理などの基礎を修得する。
2.	プラズマを応用した薄膜形成・加工法などを修得する。

1.	プラズマ応用技術の概要　本講義の導入として，プラズマの各種応用技術とその重要性について概説する。
2.	プラズマの概念　固体・液体・気体プラズマ，プラズマ温度，プラズマ密度，プラズマ振動，および低温プラズマ，熱プラズマなどのプラズマの概念について学習する。
3.	プラズマの基礎１　気体分子の衝突，励起・イオン化，放電現象について学習する。
4.	プラズマの基礎２　再結合，輸送現象などのプラズマ中の反応について学習する。
5.	プラズマの生成　放電破壊，グロー放電，高周波放電，マイクロ波放電などについて学習する。
6.	プラズマ解析・診断　プラズマ状態の分光分析，質量分析，エネルギー分析などについて学習する。
7.	気体プラズマ源　気体プラズマ生成のための各種プラズマ源について学習する。
8.	プラズマ応用装置　気体プラズマ源を含む，各種プラズマ応用装置について学習する。また、原料ガス・反応生成物の環境への影響について学習する。
9.	薄膜形成法と装置１：化学気相成長（CVD），プラズマ重合　気体プラズマを用いた化学気相成長（CVD）法，プラズマ重合法と、装置について学習する。
10.	薄膜形成法と装置２：スパッタリング（PVD）　気体プラズマを用いたスパッタリング法と装置について学習する。
11.	プラズマ加工法１：エッチング　薄膜のプラズマエッチング法と装置について学習する。
12.	プラズマ加工法２：スパッタリング　薄膜のスパッタエッチング法と装置について学習する。
13.	薄膜の表面改質　プラズマ処理による薄膜表面改質について学習する。
14.	プラズマ応用技術の動向　プラズマ応用技術の将来動向について、環境への影響を含めて概説する。
15.	期末試験

レポート（達成目標１）40%、期末試験（達成目標１及び２）60%とし、合計100点として、総合得点が60点以上を合格とする。なお、評価を受けるためには授業日数の2/3以上の出席が必要である。

参考書：「プラズマプロセシングの基礎」，岡本幸雄訳，電気書院，
　　　　「プラズマと成膜の基礎」，小沼光晴著，日刊工業新聞社，など

電磁気学1・2・3，電子物性工学1・2，集積化プロセス設計，集積回路工学などの履修がが望ましい。

・	授業終了後30分，研究室にて
・	火・金曜日の14:00〜18:00，研究室にて

環境関連科目 (環境教育割合10%)

最終更新 : Tue Mar 27 08:19:49 JST 2012

開講部	工学部
開講学科	電子工学科
開講学年	3年次
開講時期	後期
単位数	2
単位区分	選択必修
系列区分	専門
講義区分	講義

G0914300

授業の概要

達成目標

授業計画

評価方法と基準

教科書・参考書

履修前の準備

オフィスアワー

環境との関連