マイクロマシン工学特論

マイクロマシン工学はフォトリソグラフィなどの集積回路の製造手法を機械要素の製造に応用した工学分野である．英語ではMEMS:MicroElectroMechanical Systems（メムスと発音する）と呼ばれ，小さなサイズの電気と機械が融合したシステムを扱う．電子回路だけの集積回路技術とは異なり，加速度・音・光・電磁波など様々な物理量を扱うセンサーを作ることができるため，広い範囲での応用が可能である．すでに加速度センサやシリコンマイクなど実用化も進み，今後さらに発展していくことが予想される．本講義では，マイクロマシン工学の基礎を学び，その応用例などを実際の論文や記事を題材に理解する．

達成目標

1．	マイクロマシン工学（ＭＥＭＳ）の基礎である薄膜技術，真空技術，フォトリソグラフィ，エッチングなどの各技術要素を理解する．
2．	オンラインでマイクロマシン工学分野の文献を調査し，目的とする文献を見つけ，その概略を理解することができるようになること．
3．	マイクロマシン工学分野の論文や応用例の記事などから，その原理を理解し，講義に参加している他の者と，その有用性や改良点などに関して議論ができるようになること．

授業計画

	【授業計画】	【授業時間外課題（予習および復習を含む）】
1．	導入：マイクロマシン工学とは	チーム分け：マイクロマシン工学関連の英語文献を１つ探して，その内容を６回目以降にプレゼンする．
2．	要素技術１（薄膜技術，真空技術，フォトリソグラフィ，エッチングなど）	配布プリント，参考文献，参考サイトなどで十分に理解を補足しておくこと．
3．	要素技術２（加工技術，サーフェスマイクロマシニング，バルクマイクロマシニング）	配布プリント，参考文献，参考サイトなどで十分に理解を補足しておくこと．
4．	ＭＥＭＳの応用分野（バイオＭＥＭＳ，μＴＡＳ，ＲＦ−ＭＥＭＳ）	配布プリント，参考文献，参考サイトなどで十分に理解を補足しておくこと．
5．	ＭＥＭＳの応用分野（光ＭＥＭＳ，パワーＭＥＭＳ，マイクロアクチュエータ）	配布プリント，参考文献，参考サイトなどで十分に理解を補足しておくこと．
6．	マイクロマシン工学の英語論文調査プレゼン１	他チームの発表を理解し，追調査など理解を補足しておくこと．
7．	マイクロマシン工学の英語論文調査プレゼン２	他チームの発表を理解し，追調査など理解を補足しておくこと．
8．	マイクロマシン工学の英語論文調査プレゼン３	他チームの発表を理解し，追調査など理解を補足しておくこと．
9．	マイクロマシン工学の英語論文調査プレゼン４	他チームの発表を理解し，追調査など理解を補足しておくこと．
10．	ＭＥＭＳシステムの応用例１	配布プリント，参考文献，参考サイトなどで十分に理解を補足しておくこと．
11．	ＭＥＭＳシステムの応用例２	レポート課題提出
12．	ＭＥＭＳシステムの応用例３	配布プリント，参考文献，参考サイトなどで十分に理解を補足しておくこと．
13．	ＭＥＭＳシステムの応用例４	配布プリント，参考文献，参考サイトなどで十分に理解を補足しておくこと．
14．	ＭＥＭＳシステムの応用例５	配布プリント，参考文献，参考サイトなどで十分に理解を補足しておくこと．
15．	レポートフィードバック	配布プリント，参考文献，参考サイトなどで十分に理解を補足しておくこと．

開講部	大学院理工学研究科　修士課程
開講学科	機械工学専攻
開講学年	1年次
開講時期	前期
単位数	2
単位区分	特修
系列区分	特論
講義区分	講義

4M998900

授業の概要

達成目標

授業計画

評価方法と基準

教科書・参考書

履修登録前の準備

オフィスアワー、質問・相談の方法

環境との関連

地域志向

社会的・職業的自立力の育成

アクティブ・ラーニング科目