Applied Micro Machine Engineering

Course title

7D840700

Course content

マイクロマシン技術・MEMS分野での世界トップレベル研究者・エンジニアを目指すため，プロセスの基礎知識だけでなく，これまでの歴史や技術変遷，研究者やメーカーの世界的グループの把握，最先端動向と今後の発展まで含めた内容を議論形式で行う．

Purpose of class

マイクロマシン技術は基礎的なことも大切であるが，実際の製造プロセス技術や，装置の知識や操作技術，クリーンルーム・真空装置周りの操作・メンテナンス能力が研究能力の基礎として要求される．これらは教科書などには記載されておらず，数多くの論文を読破し，研究グループ独自のスキルや特殊なプロセス条件・テクニックを具体的な感覚として習得して国際学会に参加して議論できるレベルを目指す．

Goals and objectives

研究分野全体（研究グループ，技術変遷，最新動向など）を把握する

Language

Japanese(English accepted)

Class schedule

	Class schedule	HW assignments (Including preparation and review of the class.)	Amount of Time Required
1.	・マイクロマシン技術・MEMS技術の情報源に関する現状を把握する．・世界中のMEMS分野の研究者・研究室に関して調査し，Google map の機能で研究者マップを作成する．・MEMSの文献を調査し，グループでディスカッションをしながらMEMS分野の研究内容に関するマインド・マップを作成する．	ジャーナルや参考サイトを実際に自分で確認し，それぞれの特徴をつかむ．	500minutes
Total.	-	-	500minutes

Relationship between 'Goals and Objectives' and 'Course Outcomes'

	Researcher map	Research field map	Survey report	Total.
1.	40%	40%	20%	100%
2.				0%
3.				0%
Total.	40%	40%	20%	-

Evaluation method and criteria

できあがった研究者マップや，研究分野マップで8０％，各作業で用いる文献調査の報告で2０％として評価する．総合点を100点とし，60点以上を合格とする．

Textbooks and reference materials

Proceedings of the International Conference of MEMS/ Transducers
IEEE Journal of MEMS
Journal of micromechanics and microengineering
Sensors and Actuators A: Physical

Prerequisites

マイクロマシン技術，MEMSに関する基礎的な書籍を１冊以上読んで理解しておくことが望ましい．できれば，リソグラフィや真空装置に関しては実際に作業を行った経験があると理解が容易になる．

Office hours and How to contact professors for questions

Basically anytime I respond questions, need an appointment by mail.

Relation to the environment

Non-environment-related course

Regionally-oriented

Non-regionally-oriented course

Development of social and professional independence

Course that cultivates a basic self-management skills

Active-learning course

Most classes are interactive

Last modified : Wed Oct 17 08:34:54 JST 2018